Ultra arassa ýarymgeçiriji gaz ulgamlary üçin ösen IGS ýüzi berkidilýän C-möhürleýji süzgüçler
Beýany
HENGKO Ýüze Mount Filterleri ýarymgeçiriji OEM gurallarynda ulanylýan integrasiýalaşdyrylan gaz ulgamlarynyň talaplaryny kanagatlandyrmak üçin niýetlenendir. Senagatda öňdebaryjy 0,003 µm filtrasiýany hödürleýän bu süzgüçler 120 slpm-de ≥99.9999999% (9-LRV) bölejikleri tutmak netijeliligi bilen ajaýyp öndürijiligi we ygtybarlylygy üpjün edýär.
Süzgüç elementi we korpusy üçin sinterlenen berk 316L poslamaýan poroşokdan ýasalan bu süzgüçler SEMI F86-0304 tehniki şertlerine laýyk gelýär we C-möhür konfigurasiýaly 1,125” gaz paýlaýyş ulgamlary üçin niýetlenen iki portly bölekleri öz içine alýar. Olar 100°C-da iň ýokary giriş basyşyny 3,4 MPa we 100°C-da iň ýokary iş basyşynyň tapawudyny 0,69 MPa saklaýar.
Bu ýöriteleşdirilen süzgüçler, C we W görnüşli möhürleriň aýratynlyklaryna laýyk gelýär, bölejikleriň bölünip çykmagy bilen aşaky arassalygy üpjün edýär
Ra ýüzi bilen örtülenDaşarky tarapynda < 1.6 µm we RaIçki bölegi < 0.13 µm bolan bu süzgüçler 460°C çenli ýokary temperatura çydap bilmek üçin niýetlenendir. Aňsat integrasiýa we modul dizaýnyny täzelemek üçin döredilen bu süzgüçler gurnamagy we tehniki hyzmaty ýeňilleşdirýär, ýarymgeçiriji gaz eltmek we dolandyrmak ulgamlarynda ulgamyň işini optimizirlemäge kömek edýär.
Önümiň aýratynlygy
▶ Umumy 316L poslamaýan polat gurluş
▶ Kiçi dizaýn, ykjam gurluş, ýer tygşytlaýjy
▶ Ajaýyp gaz çalşygy we desorbsiýa häsiýetleri
▶ Ýokary temperatura, ýokary basyşa we korroziýa garşy çydamly
▶ Elektro jylaňly 316L poslamaýan polat korpus
▶ Aňsat we netijeli gurnamak we tehniki hyzmat
▶ Mehaniki möhürleme, gurluş taýdan gurşawa kebşirlenmedik
Maglumat sahypasy
| Tehniki parametrler | Gymmatlyklar |
|---|---|
| Süzgüç elementiniň materialy | 316L Dat almaýan polatdan ýasalan sinterlenen poroşok |
| Jaý materialy | 316L Dat almaýan polat |
| Maksimum giriş basyşy | 100°C temperaturada 3.4 MPa |
| Maksimum Işleýiş Differensialy | 100°C temperaturada 0,69 MPa |
| Gelium barlagynyň syzma tizligi | 1x10⁻¹¹ kub santimetr/min |
| Gelium synagynyň syzma tizligi | 1x10⁻⁹ kub santimetr/min |
| Ýüzleýi bejermek | Daşky ýüz Ra< 1.6 μm |
| Içki ýüz Ra< 0.13 μm | |
| Maksimum işleýiş temperaturasy | 460°C |
| Bölejikleri tutmak netijeliligi | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (Salgylanma MPPS, ähli bölejikler) |
| Agzyň aşagyndaky arassaçylyk | Bölejikleriň bölünip çykmagy:<0.03 bölejik/litr (< 1 bölejik/ft³) |
| Uçujy maddalar:< 10 ppb çyglylyk | |
| Bölejikleriň tutulmagynyň ululygy | ≥0.003 μm |
| Akym aralygy | 0 ~ 120 slpm |
Ölçegi
Sargyt edip biljek bölek nomeri we ölçegleri barada jikme-jik maglumatlar:
| Önümiň modeli | Akym tizligi | Beýiklik H (mm) | Süzgüçleme takyklygy | Arassalaýyş derejesi |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51.6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82.9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167.9 | 0,003 μm | C |
Tipik ulanylyşlar
W-möhür we C-möhür, 1,125” we 1,5” ýüzi berkidilýän modular gaz ötüriş ulgamlary bilen ulanmak üçin.
Habaryňyzy bize iberiň:
