ýarymgeçiriji gaz süzgüçleri

Näme üçin ýarymgeçiriji öndürmek prosesinde gaz süzgüçlerini ulanmaly? 

Gaz süzgüçleri ýarymgeçirijini öndürmek prosesinde birnäçe möhüm sebäplere görä möhümdir:

1. Hapalaýjy aýyrmak

Ondarymgeçirijiniň ýasalmagy, hatda iň kiçi hapalaýjy ýerlerde-de köp sanly duýgur prosesleri öz içine alýar,

tozan bölejikleri, çyglylyk ýa-da himiki galyndylar ýaly zyýanly täsirleri döredip biler. Gaz süzgüçleri aýrylýar

arassa gurşawy üpjün edip, gaýtadan işleýän gazlardan bölejik maddalary, hapalar we howadan çykýan hapalar

we ýarymgeçiriji waflleriň bitewiligini saklamak.

2. Ultra-arassalyk standartlaryny saklamak

Ondarymgeçiriji pudagy, hapalaryň bolşy ýaly, ulanylýan gazlarda gaty ýokary arassalygy talap edýär

ýarymgeçiriji enjamlardaky kemçiliklere sebäp bolýar. Gaz süzgüçleri, öňüni alyp, aşa arassa gazyň hiline ýetmäge kömek edýär

hapalanmak we önümleriň yzygiderliligini we ygtybarlylygyny üpjün etmek.

3. Enjamlary goramak

Gazlardaky hapalar diňe bir ýarymgeçiriji waflere zyýan berip bilmän, duýgurlara hem zyýan berip biler

himiki bug çöketligi (CVD) reaktorlary ýaly önümçilik prosesinde ulanylýan enjamlar we

arassalaýyş ulgamlary. Gaz süzgüçleri bu gymmat maşynlary zyýandan goraýar we töwekgelçiligi azaldýar

iş wagty we gymmat bahaly abatlaýyş.

4. Hasyl ýitgileriniň öňüni almak

Ectarymgeçiriji önümçiliginde hasyl möhümdir, bu ýerde kemçilikler önümçilikde ep-esli ýitgilere sebäp bolup biler.

Hatda ýekeje bölejik ýa-da himiki haramlyk öndürijilige we girdejililige täsir edip, hasyl ýitirip biler.

Gaz süzgüçleri, hapalanmagy azaldýan we hasyl ýitgisini azaldýan, gazlaryň arassa bolmagyny üpjün edýär.

5. Önümiň hilini üpjün etmek

Ondarymgeçiriji önümçiliginde yzygiderlilik we hil birinji orunda durýar. Hapalanan gazlar döredip biler

ynamsyz ýarymgeçiriji enjamlara sebäp bolýan gapma-garşylyklar. Gaz süzgüçlerini ulanyp, öndürijiler edip bilerler

her partiýanyň has ýokary enjama alyp barýan talap edilýän berk hil standartlaryna laýyk gelmegini kepillendiriň

öndürijiligi we uzak ömri.

6. Iş wagty azaltmak

Işleýiş gazlaryndaky hapalar, tehniki hyzmaty ýa-da çalyşmagy talap edip, enjamlaryň näsazlygyna sebäp bolup biler.

Gaz süzgüçlerini ulanmak bilen öndürijiler garaşylmadyk iş wagty azaldyp, iş netijeliligini saklap bilerler we

möhüm enjamlaryň ömrüni uzaltmak.

7. Himiki laýyklyk

Ondarymgeçiriji proseslerde ulanylýan gazlaryň köpüsi ýokary reaktiw ýa-da poslaýjy. Gaz süzgüçleri

hapalary netijeli süzüp, üpjün etmek bilen, bu agyr himiki gurşawlara garşy durmak üçin döredildi

howpsuz we täsirli gaýtadan işlemek.

Umuman, ýarymgeçirijiniň arassalygyny, ygtybarlylygyny we howpsuzlygyny saklamak üçin gaz süzgüçleri möhümdir

önümçilik prosesi, ýokary hilli, kemçiliksiz ýarymgeçiriji önümlere ýetmäge kömek edýär

gymmatly enjamlary goraýar.

Ondarymgeçirijini öndürmek prosesinde gaz süzgüçleriniň görnüşleri

Ondarymgeçirijini öndürmek prosesinde dürli çözmek üçin dürli gaz süzgüçleri ulanylýar

gazyň arassalygy we enjamlary goramak bilen baglanyşykly tapgyrlar we kynçylyklar.

Köplenç ulanylýan gaz süzgüçleriniň görnüşleri:

1. Aýratyn süzgüçler

* Maksat: Bölejikleri, tozany we beýleki gaty hapalaýjylary gazlardan aýyrmak.

* Ulanylyşy: Köplenç wafli, gaýtadan işleýän otaglary we enjamlary bölejikleriň hapalanmagyndan goramak üçin dürli etaplarda oturdylýar.

* Materiallar: Adatça süzülen poslamaýan polatdan, PTFE ýa-da çydamlylygy we himiki laýyklygy üpjün edýän beýleki materiallardan ýasalýar.

2. Molekulýar ýa-da himiki süzgüçler (Getter süzgüçleri)

* Maksat: Amal gazlarynda bolup biljek çyglylyk, kislorod ýa-da organiki birleşmeler ýaly belli bir molekulýar hapalary aýyrmak.

* Ulanylyşy: Highokary arassa gaz talap edilende ulanylýar, çökdürmek ýa-da dökmek prosesi ýaly.

* Materiallar: Köplenç molekulýar hapalary duzamak üçin ýörite döredilen kömür, zeolit ​​ýa-da beýleki adsorbent materiallary ulanyp gurulýar.

3. Pokary arassa gaz süzgüçleri

* Maksat: Ultra ýokary arassalygy (UHP) gaz standartlaryna ýetmek, ýarymgeçiriji prosesler üçin möhüm ähmiýete eýe, bu ýerde azajyk hapa önümiň hiline täsir edip biler.

* Ulanylyşy: Bu süzgüçler, hapalaryň çynlakaý kemçiliklere sebäp bolup bilýän himiki bug buglanyşy (CVD) we Plazma Etching ýaly proseslerde ulanylýar.

* Materiallar: Pressureokary basyşda we aşa şertlerde bitewiligi saklamak üçin ýöriteleşdirilen membranalar bilen poslamaýan polatdan ýasaldy.

4. Köp gaz süzgüçleri

* Maksat: Giriş nokadynda ýa-da önümçilik liniýalaryna paýlanmazdan ozal gazlary arassalamak.

* Ulanylyşy: Aýry-aýry gurallara ýa-da reaktorlara berilmezden ozal gazlary süzmek üçin gaz gowşuryş ulgamynda ýokary akymda ýerleşýär.

* Materiallar: Bu süzgüçler köplenç uly mukdarda gazlary işlemek üçin ýokary kuwwata eýe.

5. Ulanyş nokady (POU) gaz süzgüçleri

* Maksat: Her aýratyn gaýtadan işleýiş guralyna iberilýän gazlaryň hapalanmalardan azat bolmagyny üpjün etmek.

* Ulanylyşy: Gazlar, efir ýa-da çöketlik kameralary ýaly gaýtadan işleýän enjamlar bilen tanyşmazdan ozal guruldy.

* Materiallar: Sinterlenen metal ýa-da PTFE ýaly ýarymgeçiriji proseslerde ulanylýan reaktiw gazlara laýyk gelýän materiallardan ýasaldy.

6. Içerki gaz süzgüçleri

* Maksat: Paýlaýyş ulgamynyň üsti bilen hereket edýän gazlar üçin içerki süzgüç bilen üpjün etmek.

* Ulanylyşy: Esasy ulgamlarda gaz liniýalarynyň içinde oturdylýar, ulgamyň hemme ýerinde süzülmegi üpjün edýär.

* Materiallar: Gazlar bilen himiki laýyklygy üpjün etmek üçin, poslamaýan poslamaýan polatdan ýa-da nikelden.

7. Gaz üstündäki gaz süzgüçleri

* Maksat: Bölejikleri we molekulýar hapalary aýyrmak üçin göni gaz paneliniň böleklerine oturdylmaly.

* Ulanylyşy: Gaty ýerlerde giňden ýaýran bu süzgüçler, möhüm programmalarda ulanylyş nokadyny süzmegi üpjün edýär.

* Materiallar: Ondarymgeçiriji önümçilik gazlary bilen berkligi we sazlaşyklylygy üçin ýokary arassa poslamaýan polat.

8. Sub-mikron süzgüçler

* Maksat: Icarymgeçiriji proseslerinde ep-esli kemçiliklere sebäp bolup bilýän, kiçi mikron ululyklary ýaly gaty kiçi bölejikleri süzmek.

* Ulanylyşy: Fotolitografiýa ýaly ultra arassa gaz üpjünçiligini saklamak üçin iň ýokary süzgüç talap edýän amallarda ulanylýar.

* Materiallar: Evenokary dykyzlykly süzülen metal ýa-da keramiki materiallar, hatda iň kiçi bölejikleri hem duzaga düşürip biler.

9. Işjeň uglerod süzgüçleri

* Maksat: Organiki hapalaýjylary we üýtgäp durýan gazlary aýyrmak.

* Ulanylyşy: Wafli hapalanmagyň ýa-da reaksiýanyň bozulmagynyň öňüni almak üçin gazly hapalary aýyrmaly programmalarda ulanylýar.

* Materiallar: Organiki molekulalary adsorbirlemek üçin döredilen işjeňleşdirilen uglerod materiallary.

10.Sinterlenen metal gaz süzgüçleri

* Maksat: Gurluş güýji we ýokary basyşa garşylyk görkezmek bilen bölejikleri we hapalary netijeli aýyrmak.

* Ulanylyşy: Güýçli süzgüç zerur bolan ýarymgeçiriji prosesiň birnäçe basgançagynda giňden ulanylýar.

* Materiallar: Adatça berk şertlere we himiki serişdelere garşy durmak üçin süzülen poslamaýan polatdan ýa-da beýleki metal erginlerinden ýasalýar.

11.Gidrofob gaz süzgüçleri

* Maksat: Çyglylygyň ýa-da suw buglarynyň gaz akymyna girmeginiň öňüni almak üçin, hatda çyglylygyň mukdaryna-da duýgur bolan käbir proseslerde möhüm ähmiýete eýe.

* Ulanylyşy: Köplenç wafli guratmak ýa-da plazma çişmegi ýaly proseslerde ulanylýar.

* Materiallar: PTFE ýaly gidrofob membranalary, gazlaryň çyglylykdan hapalanmagyny üpjün etmek üçin.

Bu dürli gaz süzgüçleri, aýratyn häsiýetlerine, material utgaşyklygyna we ýarymgeçiriji önümçilik prosesleriniň üýtgeşik şertlerine laýyklygyna esaslanyp saýlanýar. Süzgüçleriň dogry kombinasiýasy, gazyň arassalygynyň iň ýokary derejesini saklamak, prosesiň durnuklylygyny üpjün etmek we ýarymgeçiriji enjamlardaky kemçilikleriň öňüni almak üçin zerurdyr.

Ondarymgeçiriji gaz süzgüçleri barada käbir soraglar

Sorag 1:

Ondarymgeçiriji gaz süzgüçleri näme we olar näme üçin möhüm?

Ondarymgeçiriji gaz süzgüçleri ýarymgeçirijini öndürmek prosesinde möhüm elementlerdir.

Processaly proses gazlaryndan hapalary we hapalary aýyrmak üçin niýetlenendirkislorod,

azot, wodorod we dürli himiki gazlar.

Bu hapalar ýarymgeçiriji enjamlaryň hiline, hasyllylygyna we ygtybarlylygyna ep-esli derejede täsir edip biler.

Gaz akymlaryny netijeli süzmek arkaly ýarymgeçiriji gaz süzgüçleri:

1. highokary arassalygy saklaň:

Önümçilik prosesinde ulanylýan gazlaryň, enjamyň işleýşini peseldip biljek hapalardan ýokdugyna göz ýetiriň.

2. Enjamlaryň zaýalanmagynyň öňüni alyň:

Duýgur ýarymgeçiriji enjamlary bölejiklerden we himiki hapalanmalardan goraň, bu gaty arzan iş wagty we abatlaýyş işlerine sebäp bolup biler.

3. Önümiň hasyllylygyny ýokarlandyrmak:

Gaz öndürýän hapalar sebäpli ýüze çykýan kemçilikleri we şowsuzlyklary azaltmak, önümçiligiň has ýokary bolmagyna getirýär.

4. Enjamyň ygtybarlylygyny ýokarlandyrmak:

Hapalanmak bilen baglanyşykly meseleler sebäpli ýarymgeçiriji enjamlaryň uzak möhletleýin zaýalanmagyny azaldyň.

Sorag 2:

Ondarymgeçiriji gaz süzgüçleriniň umumy görnüşleri haýsylar?

Icarymgeçiriji önümçiliginde gaz süzgüçleriniň birnäçe görnüşi ulanylýar, hersi aýyrmak üçin niýetlenendir

hapalaýjy maddalaryň aýratyn görnüşleri.

Iň ýaýran görnüşler:

1.Partikul süzgüçler:

Bu süzgüçler tozan, süýümler we metal bölejikleri ýaly gaty bölejikleri gaz akymlaryndan aýyrýar.

Adatça süzülen metal, keramika ýa-da membrana süzgüçleri ýaly materiallardan ýasalýar.

2.Himiki süzgüçler:

Bu süzgüçler suw buglary, uglewodorodlar we poslaýjy gazlar ýaly himiki hapalary aýyrýar.

Olar köplenç işjeňleşdirilen uglerod ýaly materiallary ulanyp, adsorbsiýa ýa-da siňdiriş ýörelgelerine esaslanýar,

molekulýar elekler ýa-da himiki sorbentler.

3.Kombinasiýa süzgüçleri:

Bu süzgüçler bölejikleriň we himiki süzgüçleriň iki görnüşini aýyrmak mümkinçiliklerini birleşdirýär

hapalaýjy maddalar. Köplenç ýokary arassalyk zerur bolan möhüm programmalarda ulanylýar.

Sorag 3:

Ondarymgeçiriji gaz süzgüçleri nädip saýlanýar we dizaýn edilýär?

Ondarymgeçiriji gaz süzgüçleriniň saýlanylyşy we dizaýny birnäçe faktorlary öz içine alýar:

* Gaz arassalygy talaplary:

Gasörite gaz akymy üçin islenýän arassalyk derejesi süzgüçiň süzgüç netijeliligini we kuwwatyny kesgitleýär.

* Akym tizligi we basyş:

Süzülmeli gazyň mukdary we iş basyşy süzgüçiň ululygyna, materialyna we konfigurasiýasyna täsir edýär.

* Hapalanýan görnüş we konsentrasiýa:

Gaz akymynda bar bolan hapalaýjy maddalaryň aýratyn görnüşleri süzgüç mediýasyny we gözenegiň ululygyny saýlamagy talap edýär.

* Temperatura we çyglylyk:

Işleýiş şertleri süzgüçiň işleýşine we ömrüne täsir edip biler.

* Bahasy we hyzmaty:

Süzgüçiň başlangyç bahasy we dowam edýän tehniki hyzmat talaplary göz öňünde tutulmalydyr.

In engineenerler bu faktorlary üns bilen gözden geçirip, aýratyn gabat gelýän gaz süzgüçlerini saýlap we dizaýn edip bilerler

ýarymgeçirijini öndürmek prosesiniň zerurlyklary.

Icarymgeçiriji önümçiliginde gaz süzgüçlerini näçe gezek çalyşmaly?

Ondarymgeçiriji önümçiliginde gaz süzgüçleriniň çalyşmagy ýygylygy birnäçe faktorlara, şol sanda görnüşine baglydyr

amal, hapalaýjylaryň derejesi we ulanylýan süzgüçiň aýratyn görnüşi. Adatça gaz süzgüçleri yzygiderli çalşylýar

hapalanmak howpunyň öňüni almak üçin tehniki hyzmat tertibi,köplenç her 6-12 aýdaulanyş şertlerine baglylykda

we süzgüç öndürijisinden teklipler.

Şeýle-de bolsa, çalyşmagyň tertibi iş gurşawyna baglylykda dürli-dürli bolup biler. Mysal üçin:

* Highokary hapalaýjy amallar:

Süzgüçler ýokary derejelere sezewar bolsa, ýygy-ýygydan çalşylmagy zerur bolup biler

bölejik ýa-da molekulýar hapalanma.

* Möhüm programmalar:

Örän ýokary arassalygy talap edýän amallarda (meselem, fotolitografiýa) süzgüçler köplenç çalşylýar

gazyň hiliniň bozulmazlygyny üpjün etmek üçin ilki bilen.

Süzgüç boýunça diferensial basyşa gözegçilik etmek, süzgüçiň haçan çalşylmalydygyny kesgitlemek üçin umumy usuldyr.

Hapalaýjylar ýygnanýarka, süzgüçdäki basyş peselýär, bu netijeliligiň azalandygyny görkezýär.

Süzgüçleriň netijeliligi peselmezden ozal çalyşmak möhümdir, sebäbi gazyň arassalygynyň bozulmagy möhüm kemçiliklere sebäp bolup biler,

hasyllylygy peseldýär we hatda enjamlaryň zaýalanmagyna sebäp bolýar.

Icarymgeçiriji programmalar üçin gaz süzgüçleri haýsy materiallardan ýasalýar?

Ondarymgeçiriji programmalarynda ulanylýan gaz süzgüçleri iň ýokary arassalyk standartlaryny saklap bilýän materiallardan ýasalýar

we önümçilikde ýüze çykýan agyr şertlere garşy durmak. Umumy materiallar şulary öz içine alýar:

* Poslamaýan polat (316L): Himiki garşylygy, mehaniki güýji we iň köp ulanylýan material we

sinter tehnologiýasyny ulanyp, gözenek ölçegleri bilen ýasamak ukyby. Iki reaktiw süzmek üçin hem amatly

we inert gazlary.

* PTFE (Polytetrafluoroetilen): PTFE ýokary reaktiw ýa-da poslaýjy süzmek üçin ulanylýan himiki inert materialdyr

gazlar. Ajaýyp himiki utgaşyklygy we gidrofob aýratynlyklary bar, çyglylyga duýgur

prosesleri.

* Nikel we Hastelloý:

Bu materiallar ýokary temperaturaly programmalar ýa-da agressiw himiki maddalar bilen baglanyşykly amallar üçin ulanylýar

poslamaýan poladyň zaýalanmagy mümkin.

* Keramika:

Keramiki süzgüçler aşa temperatura garşylygy talap edilýän programmalar ýa-da kiçi mikron üçin ulanylýar

bölejikleriň süzülmesi.

Material saýlamak gazyň görnüşine, reaktiw görnüşleriň barlygyna, temperatura we

prosesiň beýleki parametrleri. Haýsydyr bir hapalanmazlygy üpjün etmek üçin materiallar reaktiw däl bolmaly

ýa-da bölejikler, şeýlelik bilen ýarymgeçiriji ýasamak üçin zerur bolan gaz arassalygyny saklaýar.

Ondarymgeçiriji önümçiliginde ulanylyş nokady (POU) süzgüçleriň roly näme?

Ulanyş nokady (POU) süzgüçler ýarymgeçiriji önümçiliginde möhümdir, sebäbi gazlaryň derrew arassalanmagyny üpjün edýär.

amal gurallaryna girmek. Bu süzgüçler, gaz akymyna giren hapalaýjylardan soňky gorag üpjün edýär

saklamak, daşamak ýa-da paýlamak wagtynda, şeýlelik bilen prosesiň durnuklylygyny we önümiň hilini ýokarlandyrýar.

POU süzgüçleriniň esasy artykmaçlyklary:

* Hapalanmagyň wafli ýetmeginiň öňüni almak üçin möhüm enjamlara (meselem, epleme ýa-da çöketlik kameralary) ýakyn ýerde ýerleşýär.

* Gaz işleýiş ulgamy ýa-da daşky gurşawa täsir edip bilýän bölejik we molekulýar hapalary aýyryň.

* Enjamlary goramak we öndürilen enjamlaryň hilini ýokarlandyrmak, iş guralyna mümkin bolan iň ýokary gaz hiliniň berilmegine göz ýetiriň.

* Amalyň üýtgemegini azaltmak, hasyllylygy ýokarlandyrmak we kemçilik derejesini peseltmek.

* Ösen ýarymgeçiriji gurşawda, hatda ownuk hapalar hem öndürijilige we önümiň ygtybarlylygyna ep-esli derejede täsir edip biler.

Gaz süzgüçleri ýarymgeçiriji proseslerde enjamlaryň işlemeginiň öňüni nädip almaly?

Gaz süzgüçleri, ýarymgeçiriji proseslerde enjamlaryň işlemezliginiň öňüni alýar, gazlaryň yzygiderli erkin bolmagyny üpjün edýär

önümçilik enjamlaryna zeper ýetirip biljek hapalar. Ondarymgeçirijiniň ýasalmagy ýokary derejede ulanylmagy öz içine alýar

depozit kameralary, plazma arassalaýjy maşynlar we fotolitografiýa ulgamlary ýaly duýgur enjamlar.

Tozan, çyglylyk ýa-da reaktiw hapalar ýaly hapalar bu maşynlara girse, dürli problemalara sebäp bolup biler,

ýapyk klapanlardan we burunlardan başlap, zaýalanýan ýüzlere ýa-da reaktoryň interýerlerine çenli.

Öndürijiler ýokary hilli gaz süzgüçlerini ulanmak bilen bu hapalaýjy maddalaryň döremeginiň öňüni alýarlar we ähtimallygyny peseldýärler

meýilleşdirilmedik tehniki hyzmat we enjamlaryň döwülmegi. Bu, minimal önümçilik meýilnamalaryny saklamaga kömek edýär

gymmat düşýän iş wagty we abatlamak ýa-da çalyşmak bilen baglanyşykly ep-esli çykdajylardan gaça durmak.

Mundan başga-da, gowy saklanylýan süzgüçler akym dolandyryjylary, klapanlar we reaktorlar ýaly esasy komponentleriň ömrüni uzaltmaga kömek edýär,

şeýlelik bilen önümçilik prosesiniň umumy netijeliligini we düşewüntliligini ýokarlandyrýar.

Şonuň üçin ýarymgeçiriji gaz süzgüçleri barada käbir maglumatlary barlanyňyzdan soň, ýene-de birnäçe soragyňyz bar bolsa.

Icarymgeçirijini öndürmek prosesini ýokary hilli gaz süzgüçli çözgütleri bilen optimizirlemäge taýynmy?

Islegleriňizi kanagatlandyrmak üçin hünärmenleriň görkezmesi we ýöriteleşdirilen çözgütleri üçin şu gün HENGKO bilen habarlaşyň.

Icarymgeçiriji gaz süzgüji barada käbir maglumatlary barlanyňyzdan soň, has köp sorag alsaňyz?

Icarymgeçirijini öndürmek prosesini ýokary hilli gaz süzgüçli çözgütleri bilen optimizirlemäge taýynmy?

Islegleriňizi kanagatlandyrmak üçin hünärmenleriň görkezmesi we ýöriteleşdirilen çözgütleri üçin şu gün HENGKO bilen habarlaşyň.

Bize e-poçta iberiňka@hengko.comhas giňişleýin maglumat üçin.

Toparymyz önümçiligiň netijeliligini we önümiň hilini ýokarlandyrmaga kömek etmek üçin şu ýere gelýär.