Ondarymgeçiriji gaz süzgüçleri:
Çip öndürmekde arassa gaz arassalygyny üpjün etmek
Takyklygyň we arassalygyň birinji orunda durýan ýarymgeçiriji önümçiliginiň çylşyrymly dünýäsinde hil
ulanylýan gazlar, prosesiň üstünligini kesgitlemekde möhüm rol oýnaýar. Haramlyklar, hatda çäksiz derejede-de,
mikroçipleriň näzik zynjyryna zyýan ýetirip biler, olary kemçilikli we ulanyp bolmaýar. Goramak üçin
bu möhüm proses, ýarymgeçiriji gaz süzgüçleri hapalaýjylary seresaplylyk bilen aýyrýan berk goragçy hökmünde çykyş edýär
we önümçilik liniýalaryndan akýan gazlaryň hilini üpjün etmek.
Süzülen metal süzgüçleriň ajaýyp aýratynlyklary we peýdalary bar
1. Döwrebap arassaçylyk gurşawynda ýasaldy
Bu süzgüçler iň häzirki zaman arassa otagda, bolup biljek hapalanmagy azaltmak üçin arassa şertler ünsli saklanýan gurşawda dünýä inýär. Arassalanan howa atmosferasynda takyk kebşirlemekden başlap, berk önümçilik prosesini başdan geçirýärler. Soňraky deionizirlenen suw akymy, soňra ýokary basyşly, süzülen azot arassalanmagy, dowam edýän bölejikleri ýok edýär we bölejikleriň dökülmek howpuny peseldýär.
2. Aýratyn bölejikleri aýyrmagyň netijeliligi
SEMI F38 we ISO 12500 synag usullary bilen kesgitlenen berk ülňülere eýerip, 0,003μm bölejikler üçin 9 LRV süzgüç netijeliligi bilen, bu süzgüçler hereket edýän böleklerden emele gelen poslama sebäp bolan bölejikleri we bölejikleri netijeli aýyrýar, arassa arassalygyny üpjün edýär. gazlar.
3. Iň ýokary mehaniki güýç
Köplenç ýokary gaz basyşyny ulanýan önümçilik proseslerinde we gurşawda ajaýyp çydamlylygy kepillendirmek üçin berk synag edildi, bu süzgüçler ömrüniň dowamynda üýtgewsiz öndürijiligi üpjün edýär.
4. Iň ýokary senagat standartlaryndan ýokary
Ondarymgeçirijini gaýtadan işlemek üçin berk gaz işleýiş süzgüç talaplaryndan öňe geçip, bu süzgüçler ýarymgeçiriji önümçiliginde gaz gowşuryş ulgamlary tarapyndan talap edilýän kritiki süzgüç netijeliligine, takyk akym gözegçiligine we howpsuzlyk standartlaryna laýyk gelýändigini kepillendirmek üçin berk synagdan geçýär.
5. Howpsuzlyk baradaky üýtgewsiz borçnama
Lamangyjy, poslaýjy, zäherli we pirofor prosesi gazlarynyň täsirinden goranmak üçin süzgüçli jaýlar syzdyryş synagyndan geçýär we 1x10-9 atm scc / sekuntdan pes syzyş tizligini gazanmagyny üpjün edýär. Howpsuzlyga bolan bu üýtgewsiz ygrarly, howply gazlaryň bardygyny we zyýan ýetirmeginiň öňüni alýar.
6. Çip öndürmek ussatlygy üçin barlyşyksyz arassalyk
Ajaýyp süzgüç mümkinçilikleri, howpsuzlyga üýtgewsiz ygrarlylyk we iň ýokary pudak standartlaryna boýun bolmak arkaly bu gaz süzgüçleri ýarymgeçiriji önümçiliginiň çylşyrymly prosesini goramakda möhüm rol oýnaýar. Arassalygyň goragçylary hökmünde çykyş edýärler, diňe arassa gazlaryň önümçilik liniýalaryndan akmagyny üpjün edýärler we häzirki zaman dünýämizi güýçlendirýän ýokary öndürijilikli mikroçipleriň döredilmegine ýol açýarlar.
Ondarymgeçiriji süzgüçleriň görnüşleri
Ondarymgeçiriji süzgüçler dürli programmalarda ulanylýar, şol sanda:
* Elektron önümçiligi:
Ondarymgeçiriji süzgüçler ýarymgeçirijileri öndürmekde ulanylýan ultrapura suwlaryndan, gazlardan we himiki maddalardan bölejikleri aýyrmak üçin ulanylýar.
* Himiki mehaniki meýilnamalaşdyrmak (CMP):
Ondarymgeçiriji süzgüçler, ýarymgeçiriji wafli süpürmek üçin ulanylýan CMP süýümlerinden bölejikleri aýyrmak üçin ulanylýar.
* Biomedikal:
Ondarymgeçiriji süzgüçler lukmançylyk diagnostikasynda we bejergisinde ulanylýan suwuklyklardan bölejikleri aýyrmak üçin ulanylýar.
* Daşky gurşaw:
Ondarymgeçiriji süzgüçler howadan we suwdan bölejikleri aýyrmak üçin ulanylýar.
Ondarymgeçiriji süzgüçleriň dört esasy görnüşi bar:
1. Membrananyň süzgüçleri:
Membrana süzgüçleri bölejikleri gabanda suwuklyklaryň geçmegine mümkinçilik berýän inçe, gözenekli filmden ýasalýar.
2. Çuňlugyň süzgüçleri:
Çuňlugyň süzgüçleri, süzgüçden geçip barýarka bölejikleri duzakly, galyň materialdan ýasalýar.
3. Adsorbent süzgüçleri:
Adsorbent süzgüçleri bölejikleri özüne çekýän we saklaýan materialdan ýasalýar.
4. Süzülen metal süzgüçler
Süzülen metal süzgüçler ýarymgeçiriji önümçiliginde köplenç ulanylýan çuňluk süzgüçidir. Olar inçe metal tozy gözenekli gurluşa süzmek arkaly ýasalýar. Süzülen metal süzgüçler ýokary berkligi, ýokary süzgüç netijeliligi we ýokary temperatura we basyşlara garşy durmak ukyby bilen tanalýar.
Icarymgeçiriji öndürmek üçin süzülen metal süzgüçleriň artykmaçlyklary:
* Durakary çydamlylyk:
* Filokary süzgüç netijeliligi:
* Uzak ömri:
* Himiki utgaşyklyk:
Sinterli ýarymgeçiriji önümçiliginde süzülen metal süzgüçleriň ulanylyşy:
* Gaz arassalamak:
Sinterlenen metal süzgüçler ýarymgeçiriji önümçilik prosesiniň möhüm bölegi bolup, ýokary hilli ýarymgeçiriji enjamlaryň öndürilmegini üpjün edýär.
Belli bir programmada ulanylýan ýarymgeçiriji süzgüçiň görnüşi, aýrylýan bölejikleriň ululygyna, suwuklygyň süzülmegine we islenýän derejesine baglydyr.
Ine, ýarymgeçiriji süzgüçleriň dürli görnüşlerini jemleýän tablisa:
Süzgüç görnüşi | Düşündiriş | Goýmalar | Surat |
---|---|---|---|
Membrana süzgüçleri | Bölejikleri gabanda suwuklyklaryň geçmegine mümkinçilik berýän inçe, gözenekli filmden ýasaldy. | Elektron önümçiligi, CMP, biomedikal, daşky gurşaw | |
Çuňluk süzgüçleri | Süzgüçden geçip barýarka bölejikleri duzaga salýan galyň, jebirli düşekden ýasaldy. | CMP, biomedikal, daşky gurşaw | |
Adsorbent süzgüçleri | Bölejikleri özüne çekýän we saklaýan materialdan ýasalan. | Elektron önümçiligi, CMP, biomedikal, daşky gurşaw | |
Süzülen metal süzgüçler | Gözenekli gurluşa inçe metal tozy süzmek arkaly ýasalýar. | Gazy arassalamak, himiki süzgüç, ultrapura suwy süzmek, CMP süýümli süzmek | Ondarymgeçiriji üçin süzülen metal süzgüçler |
Arza
Sintirlenen metal ýarymgeçiriji gaz süzgüçleri ýarymgeçiriji pudagynda dürli programmalarda giňden ulanylýar. Highokary süzgüç netijeliligi, çydamlylygy we ýokary temperatura we basyşlara garşy durmak ukyby ýaly özboluşly aýratynlyklary, ýarymgeçiriji önümçiliginde gaz iberiş ulgamynyň möhüm bölegi bolýar.
Süzülen metal ýarymgeçiriji gaz süzgüçleriniň käbir aýratyn programmalary:
Wafli önümçiligi:
Süzülen metal süzgüçler azot, wodorod we kislorod ýaly wafli önümçiliginde ulanylýan gazlary arassalamak üçin ulanylýar. Bu gazlar epitaksial ulalmak, çişmek we doping ýaly prosesler üçin zerurdyr.
2. Himiki süzgüç:
Süzülen metal süzgüçler, ýarymgeçiriji önümçiliginde kislotalar, esaslar we erginler ýaly himiki serişdeleri süzmek üçin ulanylýar. Bu himiki maddalar arassalamak, ýuwmak we ýuwmak ýaly dürli maksatlar üçin ulanylýar.
3. Ultrapura suwunyň süzülmesi:
Sinterlenen metal süzgüçler ýarymgeçiriji önümçiliginde ulanylýan ultrapura suwuny (UPW) süzmek üçin ulanylýar. UPW wafli arassalamak we ýuwmak, şeýle hem himiki serişdeleri taýýarlamak üçin zerurdyr.
4. CMP süýümli süzgüç:
Sinterlenen metal süzgüçler ýarymgeçiriji wafli süpürmek üçin ulanylýan CMP süýümlerini süzmek üçin ulanylýar. CMP mikroçipleri ýasamakda möhüm prosesdir.
5. Ulanyş nokady (POU) süzgüç:
Süzülen metal süzgüçler köplenç POU süzgüçleri hökmünde ulanylýar, iň ýokary süzgüç derejesini üpjün etmek üçin gönüden-göni ulanylýan nokada gurulýar. POU süzgüçleri, mikroprosessorlary we beýleki ýokary öndürijilikli enjamlary öndürmek ýaly gazyň arassalygy möhüm bolan programmalar üçin aýratyn möhümdir.
6. -okary arassa gaz bilen işlemek:
Sinterlenen metal süzgüçler ýarymgeçiriji önümçiliginde ulanylýan gazlardan hapalaýjylary aýyrmak üçin ýokary arassa gaz işleýiş ulgamlarynda ulanylýar. Bu hapalaýjy maddalar bölejikleri, çyglylygy we organiki birleşmeleri öz içine alyp biler.
7. Mikroelektronika önümçiligi:
Sinterlenen metal süzgüçler kompýuterler, planşetler, jübi telefonlary, IoT datçikleri we dolandyryş enjamlary ýaly mikroelektronika önümçiliginde ulanylýar.
8. Mikro-elektromehaniki ulgamlar (MEMS) süzgüç:
Süzülen metal süzgüçler MEMS süzgüçinde ulanylýar, bu mikro-elektromehaniki ulgamlardan hapalaýjylary aýyrmak prosesi. MEMS datçikler, herekete getirijiler we geçirijiler ýaly dürli programmalarda ulanylýar.
9. Maglumat saklaýjy enjamyň süzülmesi:
Sinterlenen metal süzgüçler, gaty diskler we gaty diskler ýaly maglumatlary saklaýan enjamlardan hapalaýjylary aýyrmak prosesi bolan maglumat saklaýjy enjamyň süzgüçinde ulanylýar.
Bu ýörite programmalardan başga-da, ýarymgeçiriji pudagynda süzülen metal ýarymgeçiriji gaz süzgüçleri hem ulanylýar. Köpugurlylygy we ygtybarlylygy olary ýarymgeçiriji öndürijiler üçin möhüm gural edýär.
Iň ýokary hilli sintirlenen metal ýarymgeçiriji gaz süzgüçlerini gözleýärsiňizmi?
HENGKO ýarymgeçiriji önümçilik ulgamlarynda OEM çözgütleri üçin hyzmatdaş.
Takyklyk bilen işleýän süzgüçlerimiz, bäsdeşlik bazarynda size artykmaçlyk hödürläp, amallaryňyzyň ygtybarlylygyny we netijeliligini üpjün edýär.
Näme üçin HENGKO-nyň süzgüçlerini saýlaň?
* Iň ýokary hil we çydamlylyk
* Specificörite zerurlyklaryňyza laýyklaşdyrylan çözgütler
* Ondarymgeçiriji öndürmek üçin ösen öndürijilik
Süzmek kynçylyklary önümçiligiňizi saklamaga ýol bermäň.
Süzülen metal süzgüçlerimiziň önümçilik ulgamyňyzy nädip üýtgedip biljekdigini öwrenmek üçin şu gün bize ýüz tutuň.
Biz bilen habarlaşyňka@hengko.com
HENGKO bilen hyzmatdaş we ýarymgeçiriji önümçiliginde kämillige tarap ädim ätiň!